通電了,一切係統運行正常。但是這隻是第一步,說明這台光刻機啟動了起來,接下來,他們就要進行各項嚴苛的驗證和調試,隻有經過最嚴苛的測試後才知道這台機器有冇有達到設計標準,隻有達到了設計標準,才能真正的定型生產。
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